。
    而应用于顶级euv上的离轴高精度非球面加工在此基础上又做了一次难度相当大的升级。
    如按照单片离轴非球面镜片加工，镜片尺寸基本为实际尺寸，那么结果会比补全轴对称尺寸小了很多。
    但离轴非球面镜片量测又是个大问题。
    除此之外，离轴非球面系统装配也是个超级难点。
    不比duv光刻机，duv的轴对称系统装配有比较好的量测设备支持，所以很多国家都能研发两位数纳米级的光刻机。
    但当轴对称过渡到离轴非球面装配时，由于顶点位置已经失去，定心会非常困难。
    像顶级的euv光刻机中的光源系统物理总长足足有一点三米，而定心不准导致的离轴偏心的影响将非常严重。
    剩下其他大大小小的问题更是多不计数。
    比如镜片的折射率、集光效应、穿透效率、吸收效应等等各种问题都是需要解决的。
    不然全世界也不会只有一家蔡司了。
    蔡司完全可以说，如果没有他们的光学镜头，那么阿斯麦的极紫外（euv）光刻机便无从谈起。
    这是一家拥有近两百年历史公司的底蕴、自豪和傲视。
    然而现在，眼前直播间里面的那个人，却打破了
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