行处理。”
    “其原理是用100kev级的高能将需要注入的离子加速后将其射入到材料中。”
    “而离子束中的离子与材料中的原子或分子将发生一系列物理的和化学的相互作用，逐渐损失能量，最后停留在材料中。”
    “最终引起材料表面成分、结构和性能发生变化，从而优化材料表面性能，或获得某些新的优异性能。”
    “集成芯片基本都是采用‘离子注入’这种技术来处理硅基底的。”
    “一般来说，硅晶材的n-漂移层都是用铝离子来做的，以前使用最广泛的离子源使用铝金属微波离子源来作为离子束。”
    “但离子源的结构非常复杂，制作成本很高。”
    “除此之外，相对比硅基芯片，使用铝离子注入碳化硅进行制造形成n-漂移层还有一个很大的问题。”
    “那就是碳化硅晶体的原子密度比硅大，要达到相同的注入深度，离子注入工艺需要离子具有更高的注入能量。”
    “哪怕是有专业的注入仪器，需要的电压强度一般也要达到350kev，高的甚至要求700kev以上。”
    “而且还需要达到一千两百度以上的高温。”
    “否则注入深度无法达到要求，无法形成稳定可用
 <本章未完请点击"下一页"继续观看!>